氩气在等离子清洗机中有哪些应用

深圳市神州天柱科技有限公司2023-10-10

等离子表面清洗机经常会应用诸多不同的气体，如通常会应用氧气、氢气、氮和压缩空气等，也可能根据工艺要求使用氩气。那么为啥要使用这种气体，以及它在等离子清洗机设备中的作用是什么？ 氩气是一种惰性气体，经过电离之后的等离子体不会与基体发生化学反应。在等离子体清洗中，氩气主要是利用于与基体表面的物理清洗及表面粗化。所以氩气等离子清洗机被应用于半导体行业、微电子行业及晶圆制造行业等。一、表面清洁 在晶圆、玻璃等产品表面颗粒的去除过程中，通常会采用等离子体对材料表面的颗粒进行轰击，加以实现对颗粒的分散和松动处理，然后再进行离心清洗等处理工艺，会有着的效果。在半导体封装应用中尤为突出，在经过打线工艺后为防止导线氧化，需采用氩等离子体或氩氢等离子对产品表面进行等离子清洗，实现更好的产品处理效果。

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